E-1132／防振衬套 E-1132／防振衬套
品牌：ERON(雅朗)
型号：G5C32F8006F171
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●特殊水平机构可发挥优异的隔振性能
●全系列采用统一高度
●自动调平功能可对应偏载状态
●可用于无尘室（集中排气：选项）
●附带防止过度上浮机构
■用途
●半导体制造装置、检查装置（步进式曝光机、FIB装置）
●化学分析设备（薄膜硬度计、核磁共振仪）
●各种精密检查及测量仪、平台
■性能
水平1.5Hz 垂直2.5Hz
一般：约4sec→高性能：约1.5sec
■规格
使用压力范围 ： 0.1～0.4（MPa） ／ 固有振动数 ： 水平1.5Hz 垂直 2.5Hz 以下
| 订单号 | 型号 | A | B | C | D | 产品重量1个（4个） | 容许负荷（4个防振座） | |
| kg | kg | N | ||||||
| 116411 | AMG070 | 125 | 90 | 185 | φ10 | 3.5 (14.0) | ～ 420 | ～ 4116 |
| 116412 | AMG100 | 150 | 120 | φ10 | 5.2 (20.8) | ～ 730 | ～ 7154 | |
| 116413 | AMG200 | 200 | 160 | φ10 | 8.3 (33.2) | ～1300 | ～12740 | |
| 116414 | AMG500 | 250 | 200 | φ14 | 16.6 (66.4) | ～3000 | ～29400 | |
| 116415 | AMG800 | 320 | 250 | φ18 | 28.1(112.4) | ～4700 | ～46060 | |
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